簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "蔡大翔".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="有機金屬化學氣相沉積法"


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    以不同有機金屬前驅物(C6H7)(C8H12)Ir及(C5H7O2)(C8H12)Ir成長二氧化銥一維奈米晶體之研究
    • 材料科學與工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 戴祺緯 指導教授: 黃鶯聲
    • 在我們改良有機金屬化學氣相沉積系統的氧氣環和噴頭後,得到的二氧化銥結果有明顯的改善了均勻性和再現性,並且已成功在SA(100)和SA(012)基板上使用兩種不同的前驅物(C6H7)(C8H12)Ir…
    • 點閱:355下載:0

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    二氧化銥一維奈米晶體的成長與特性分析
    • 材料科學與工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 張弘民 指導教授: 黃鶯聲
    • 利用垂直流冷壁式的有激金屬化學汽相沈積法,我們已成功地在不同基板上成長出二氧化銥一維奈米晶體(包含奈米柱與奈米管)與薄膜。同時也藉由場發射掃瞄式電子顯微術(FESEM)、X光繞射術(XRD)與拉曼散…
    • 點閱:389下載:2

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    以化學氣相沉積法合成氧化銥/氧化釕奈米桿薄膜之氣體感測特性之研究
    • 化學工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 趙子維 指導教授: 劉進興
    • 本論文主要利用化學氣相沉積方式合成氧化銥/氧化釕奈米桿為感測材料在石英感測晶片上的金電極進行沉積,用XRD與FESEM分析氧化銥/氧化釕的薄膜表面結構。其次以QCM 質量式感測器針對有機揮發化合物(…
    • 點閱:322下載:1

    4

    利用有機金屬化學氣相沉積法成長二氧化釕奈米結構與場發特性分析
    • 材料科學與工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 蔡宗穎 指導教授: 黃鶯聲
    • 使用[(CH3CH2)C5H4]2Ru當前驅物,於冷壁式有機金屬化學氣相沉積系統中成長二氧化釕奈米結構,其沉積在不同平面之基板上有不同的成長方向。使用場發射掃描式電子顯微鏡、X光繞射譜線,對二氧化釕…
    • 點閱:313下載:1
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